位于广东佛山的广东联峰励志光电科技有限公司于2016年1月研发成功首台芯片激光退火设备。该设备于近日通过客户验收，工艺指标完全满足相关领域要求，部分指标优于国外设备，与进口设备相比具有成本上的巨大优势，可大幅度降低用户的购置、维护和升级改造的成本。该设备的研发成功，有助于佛山搭建芯片和芯片加工装备产业链，同时助力我国微电子产业的发展。

该设备除主辅光源进口外，光路整形系统及核心光学整形元器件全部国产化并具有自主知识产权； 配有红外测温装置，可实时监控退火时片体的表面温度；配有功率实时监测系统，可实时保证退火重复性和均匀性；高精度大理石台面以及高精度电控位移系统，能让设备性能稳定发挥；自主研发的软件系统实现了数据高速采集，最大程度上兼顾了实用性与灵活性。芯片激光退火设备可用于硅基IGBT背面的激活和硅基图像传感器芯片背面的激活等领域。芯片激光退火工艺是微电子产业最为核心重要的工艺之一。退火时间从传统的热退火和快速热退火的几十分钟～几秒，缩短到亚毫秒、微秒级。据专家介绍，目前，功率器件激光退火设备以及应用在半导体领域的激光退火设备全部要进口，价格极为昂贵；大规模生产用的国产激光退火设备和可供科研用户的国产激光退火设备均处于空白。

由佛山市技术创新协会2015年精准产业招商与项目引进的广东联峰励志光电科技有限公司，落户在佛山国家火炬创新创业园。该企业知难而上，抓住发展机遇进入战略性新兴产业，贯彻实施佛山工业转型攻坚战三年行动计划，自主研发成功国内首台芯片激光退火设备。